System do nanoszenia cienkich warstw (physical vapour deposition - PVD) z możliwością integracji z komorą rękawicową (glovebox). S…

System do nanoszenia cienkich warstw (physical vapour deposition - PVD) z możliwością integracji z komorą rękawicową (glovebox). System przeznaczony jest do nanoszenia cienkich warstw metodą termicznego odparowania oraz rozpylania magnetronowego. Układ powinien umożliwiać sekwencyjne nanoszenie różnych materiałów (np. metali i materiałów organicznych) w jednym cyklu procesu oraz nanoszenie warstw metodą rozpylania magnetronowego (w szczególności tlenków, azotków oraz warstw przewodzących). System powinien być przystosowany do współpracy z komorą rękawicową oraz do pracy w warunkach próżniowych.